商品属性
商品描述
振华GXZ1914自动光学镀膜机
粗抽
莱宝SV300B
2台
莱宝罗茨泵WAU20011台
精抽
光驰指定扩散泵DPM-28A 2台
抽速22000L/S极限2.0E-5PA
深冷
广州协议XC3000- -SH-ST
制冷量3000W -130°C
电源
MSB中频电源40KW 7台
全自动触摸屏控制--键操作
机体
6对平面靶12块靶(现有靶材配送)
1组离子源清洗1组阻蒸
主机全304不锈钢,带公自转,自转19轴
轴间距25.5CM
带加热修正尺.
机体直径1914MM 5路 单混合气体
带硅油系统